市場傳出,為降低成本,聯(lián)發(fā)科明年新芯片高階制程開發(fā)計劃有所變動,將暫緩7納米制程進(jìn)度,最高階只到12納米,并以16納米為主。聯(lián)發(fā)科明年主力芯片訂價是否能優(yōu)于對手高通,仍有待密切觀察。
聯(lián)發(fā)科一向不對產(chǎn)品進(jìn)度與客戶事宜評論。據(jù)悉,聯(lián)發(fā)科明年第1季將推2款P系列新芯片,代號為P40與P60,采12納米制程生產(chǎn)。就明年全年開案進(jìn)度而言,聯(lián)發(fā)科新芯片都將集中在中低階芯片,高階芯片及采先進(jìn)制程生產(chǎn)的產(chǎn)品,進(jìn)度反而暫緩,其中,7納米至目前為止都沒有任何新開案進(jìn)度。
業(yè)界傳出,聯(lián)發(fā)科為節(jié)省先進(jìn)制程高昂的光罩費(fèi)用,明年新芯片都將以16納米為主要投產(chǎn)制程,借此降低成本,擠出更多潛在獲利,也符合共同執(zhí)行長蔡力行過去習(xí)換降低成本減少研發(fā)支出的作風(fēng)。
據(jù)了解,聯(lián)發(fā)科內(nèi)部定調(diào),明年先進(jìn)制程芯片,最高只用到臺積電12納米制程,同時聯(lián)發(fā)科將持續(xù)分散晶圓代工來源,將部分芯片持續(xù)轉(zhuǎn)交聯(lián)電生產(chǎn),以尋求較好的利潤空間。
業(yè)界解讀,這是蔡力行上任后,在樽節(jié)成本上的明顯作為,雖然蔡力行未大刀闊斧樽節(jié)人力成本支出,但在研發(fā)與新芯片開發(fā)進(jìn)度上,明顯開始縮手。蔡力行先前股東會后也曾說過,不具優(yōu)勢的產(chǎn)品就會減少投資,專注在有獲利空間的產(chǎn)品上,從到目前為止,聯(lián)發(fā)科未有任何7納米制程產(chǎn)品就可窺知此策略方向。
聯(lián)發(fā)科日前發(fā)表P23與P30芯片,預(yù)計第4季出貨,2顆芯片都采用16納米制程生產(chǎn),由于臺積電代工價格仍比三星高,導(dǎo)致聯(lián)發(fā)科訂價空間遭勁敵高通擠壓。不過,相較之下,聯(lián)發(fā)科采16 納米制程生產(chǎn)芯片,良率較高,對整體獲利仍可望帶來助益。
至于明年第1季上市的P40與P70芯片,聯(lián)發(fā)科都將采用12納米生產(chǎn),目標(biāo)是要爭取OPPO R系列新機(jī)訂單,搶攻明年中階市場。據(jù)悉, P40芯片定價將落在15至16美元,對應(yīng)到高通S640芯片。市場人士指出,若明年P(guān)40與P70芯片銷售繳出佳績,聯(lián)發(fā)科12納米生產(chǎn)的比重才會顯著增加。
先進(jìn)工藝制程成本的變化是一個有些爭議的問題。成本問題是一個復(fù)雜的問題,有許多因素會影響半導(dǎo)體制程成本。本文將討論關(guān)于半導(dǎo)體制程的種種因素以及預(yù)期。
影響半導(dǎo)體工藝制程成本的第一個因素是晶圓成本。
毫無疑問,晶圓成本在不斷上升。制程的金屬層數(shù)隨著工藝的演進(jìn)不斷上升,在130nm時典型的制程有六層金屬,而到了5nm節(jié)點(diǎn)則預(yù)期至少會有14層金屬。
從90nm節(jié)點(diǎn)開始開始引入應(yīng)力技術(shù)以繼續(xù)增強(qiáng)晶體管的性能,這也會增加制程的成本。從45nm到28nm節(jié)點(diǎn),半導(dǎo)體制程引入了high-k柵技術(shù)以增強(qiáng)性能。
另一個變化是晶體管閾值電壓數(shù)目的變化。在130nm節(jié)點(diǎn),晶體管只有兩種閾值(常規(guī)閾值RVT管與低閾值LVT管),而到了16nm之后,有了多達(dá)五種閾值(超高閾值UHVT,高閾值HVT,常規(guī)閾值RVT,低閾值LVT與超低閾值ULVT)。這是因為,從40nm到16/14nm FinFET,短溝道效應(yīng)越來越明顯,為了控制漏電流必須引入多種閾值的器件。顯然,這也會增加掩膜成本。
在先進(jìn)半導(dǎo)體制程中,還會引入新的技術(shù),如在16/14nm節(jié)點(diǎn)引入的FinFET技術(shù),在5nm引入的堆疊橫向納米線(stacked horizontal nanowire )技術(shù)。
上圖顯示了不同工藝節(jié)點(diǎn)用到的技術(shù),據(jù)此不同的工藝節(jié)點(diǎn)用到的掩膜層數(shù)如下圖所示:
從20nm節(jié)點(diǎn)開始,為了使用傳統(tǒng)光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)更小的特征尺寸,半導(dǎo)體制程引入了多重pattern技術(shù)。光刻機(jī)在28nm的時候只需要一次的光刻曝光就可以實(shí)現(xiàn)了。
但到了22nm/20nm,單次曝光有時候就不能給臨界層提供足夠的分辨率。芯片制造商就通過多重pattern的方式解決問題。這也就是增加了一個簡單的兩步流程。這當(dāng)中的主要的挑戰(zhàn)就是刻這些細(xì)線圖案。
為了達(dá)到目標(biāo),芯片制造商只好使用雙重pattern技術(shù)。在這個步驟里會需要兩次光刻和刻蝕步驟去確定一個單層。使用這種雙重pattern技術(shù),可以減小30%的pitch,而三重pattern則需要三次曝光,也就是需要三次刻蝕步驟。
除此之外,業(yè)界在10nm和7nm還會碰到其他問題。在45nm和40nm的時候,設(shè)計的時候需要用到40層光罩,而到了14nm和10nm,光罩的需求量則上升到60層。“如果沒有EUV,只是靠沉浸式去實(shí)現(xiàn)三倍甚至四倍pattern,那么我們認(rèn)為在7nm的時候,光罩?jǐn)?shù)量會上升到80到85層之間”。三星的晶圓制造資深主管Kelvin Low表示。
光罩層數(shù)的增加,也就代表著成本的水漲船高。同時覆蓋物也將會成為Fab的災(zāi)難。覆蓋物需要把光罩層有秩序的精確地放置在彼此的身上。而隨著mask的增加,覆蓋層也就會成為噩夢。如果沒對齊,覆蓋層問題就夠你喝一壺了。
另外,現(xiàn)在做一層光罩需要1到1.5天,在7nm的時候使用多重pattern,那就需要差不多五個月的時間才能做好晶圓。這就意味著如果繼續(xù)使用多重pattern,會導(dǎo)致晶圓成本高到無法接受。
除了多重pattern之外,另一種新的光刻技術(shù)是EUV。然而,EUV的掩膜制造也十分困難。EUV掩膜在很多方面與傳統(tǒng)193nm光刻的掩膜不一樣。因為它有很大的改變,對于每個產(chǎn)品的特性或者功能,在供應(yīng)鏈中會產(chǎn)生很大影響,其中包括光刻膠、掩膜及中間掩膜,也涉及制造設(shè)備,如采用電子束寫入設(shè)備以及軟件。
在5納米時,掩膜的寫入時間是最大的挑戰(zhàn)。因為今天的單電子束寫入設(shè)備在做復(fù)雜圖形時的出貨不夠快,費(fèi)時太久。從己經(jīng)出爐的報告來看,由于技術(shù)原因,設(shè)備的研發(fā)用了比預(yù)期長得多的時間。事實(shí)上,任何突破性的創(chuàng)新技術(shù)從研發(fā)到成功,再達(dá)到量產(chǎn)水平,都是如此。
另外,即使使用EUV,多重pattern也是必須的。只有在真正的關(guān)鍵層才需要采用EUV,而其他層仍然用多重pattern??梢哉f,在未來這樣的混合模式光刻是趨勢。
而且,當(dāng)EUV延伸至7納米以下時,作為一種提高光刻機(jī)放大倍率的方法,需要大數(shù)值孔徑的鏡頭(NA),為此ASML已經(jīng)開發(fā)了一種變形鏡頭。它的兩軸EUV鏡頭在掃描模式下能支持8倍放大,而在其他模式下也有4倍,因此NA要達(dá)0.5至0.6。
由此帶來的問題是EUV光刻機(jī)的吞吐量矛盾,它的曝光硅片僅為全場尺寸的一半,與今天EUV光刻機(jī)能進(jìn)行全場尺寸的曝光不一樣。最新 EUV機(jī)器的價格超過 1億歐元,是現(xiàn)有常規(guī) 193nm光刻機(jī)價格的二倍多。
特征尺寸縮小最大的動力就是大規(guī)模ASIC中數(shù)字門尺寸縮小,從而在相同的芯片面積上可以放下更多的性能更好的標(biāo)準(zhǔn)單元。最終ASIC的成本應(yīng)當(dāng)同時考慮晶圓的成本以及門單元的密度。
數(shù)字門單元的尺寸在橫向上決定于多晶硅以及多晶硅通孔的間距,而在縱向上則等于金屬間最小間距乘以track數(shù)目。Track數(shù)越小,門尺寸越小,但是布線也越困難。
晶圓成本,數(shù)字門密度與數(shù)字門成本如下圖左所示。在130nm到65nm之間,晶圓成本上升的速度較慢,此后在40nm到20nm之間,晶圓成本上升由于加入了更多閾值電壓的晶體管而加快上升。在20nm之后,晶圓成本上升速度再次加快,這次是因為多重pattern。
數(shù)字門密度如下圖中所示,密度以指數(shù)趨勢上升,該趨勢與摩爾定律相符。單位數(shù)字門成本如下圖右所示,可見從130nm到20nm節(jié)點(diǎn)之間單位門成本下降較快,但是20nm之后單位門成本下降速度減緩。
目前芯片設(shè)計都有嚴(yán)格的功耗指標(biāo)。隨著門單元密度隨指數(shù)上升,單位面積的功率密度也隨指數(shù)上升,但是芯片散熱能力上升卻沒這么快。為了解決散熱問題,在芯片上出現(xiàn)了Dark Silicon,即芯片上部分晶體管在大多數(shù)時候是不上電的,僅僅在用到的時候才會啟動。
這些Dark Silicon面積包括各類加速器,舉例來說手機(jī)SoC里面的視頻編解碼模塊的電源在不播放視頻的時候是關(guān)掉的。這些Dark Silicon在大部分時間是不起作用的,從另一個角度說Dark Silicon也增加了芯片的成本。
在先進(jìn)工藝設(shè)計成本可謂是一飛沖天。這就導(dǎo)致了在先進(jìn)工藝下,芯片出貨量需要非常大才能抵消NRE成本。如今,越來越少的設(shè)計可以滿足如此大的出貨量,因此很多設(shè)計出于經(jīng)濟(jì)上的考量不再使用最先進(jìn)的工藝。
盡管先進(jìn)工藝的晶圓成本不斷攀升,門單元的成本卻能夠保持下降。然而,過高的設(shè)計成本卻成了一個問題,只有出貨量非常大的芯片才有機(jī)會使用最新工藝
在聯(lián)發(fā)科做出這個決定的時候,其競爭對手則在如火如荼推進(jìn)7nm新旗艦打造。
高通的下一代驍龍?zhí)幚砥魇窃S多關(guān)心手機(jī)的廠商矚目的焦點(diǎn),也接連陸續(xù)有一些爆料以及想像。只是,最新的一則消息來源則有點(diǎn)讓人意外,爆料者來自于高通自家,只是出處卻是來自于蘋果與高通的專利戰(zhàn)之上,有人發(fā)現(xiàn)高通提供的其中一則文件,披露了高通下一代旗艦級處理器驍龍845的存在。
隨著高通向美國國際貿(mào)易委員會(ITC)提起訴,要求禁止蘋果iPhone輸美,高通在提出的一份文件中,所列出的相關(guān)專利的芯片組,也讓明年高階款旗艦處理器Snapdragon 845曝光。
根據(jù)目前的消息,高通下一代旗艦驍龍845會采用臺積電的7nm工藝制程,不過也不排除它會繼續(xù)采用三星的技術(shù)。架構(gòu)上,驍龍845將繼續(xù)沿用自主的8核心設(shè)計,4核A75+4核A55,GPU則會升級到Andreno 630。
至于華為,同樣也披露了7nm的計劃。
有網(wǎng)友在微博上爆料稱,麒麟980處理器已經(jīng)流片,雖然目前還沒有更多的信息,但有消息稱,可能采用7nm工藝和A75構(gòu)架,至于供應(yīng)鏈人士提到的圖形處理有驚喜,則可能與傳說中的華為自研GPU有關(guān)。
值得一提的是,消息人士還強(qiáng)調(diào),首發(fā)麒麟980處理器的機(jī)型應(yīng)該是P20,至于為什么不是P11,或許這是華為早就計劃好的,之前他們已經(jīng)申請了華為P20的注冊商標(biāo)。
不再滿目追擊領(lǐng)先,對聯(lián)發(fā)科來說,也許是一件好事。